விவரக்குறிப்பு | LMT-XY-200X200 | ABVT-Z20(காற்று தாங்கும் ரயில்) |
மோட்டார் வகை | மூன்று கட்ட இரும்பு இல்லாத மோட்டார் | குரல் சுருள் மோட்டார்+ |
தீர்மானம் | இயல்புநிலை 100nm டிஜிட்டல் அளவு | 1vpp கீழே 5nm |
மோட்டார் உந்துதல் | தொடர்ச்சியான 60N/உச்சம் 210N | தொடர்ச்சியான 60N/உச்சம் 210N |
குறைந்தபட்ச படி அளவு[nm] | 200nm | 100nm |
பயணம் [மிமீ] | 200×200 | 10 |
மீண்டும் நிகழும் தன்மை [um] | ± 0.3 | |
நிலை துல்லியம் [um] | ± 1 | ± 0.5 |
தட்டையானது [உம்] | 10um | 5um |
நேர்மை [உம்] | 1um | 1um |
அதிகபட்ச வேகம் [மிமீ/வி] | 500மிமீ/வி | 30மிமீ/வி |
சுமை திறன் [கிலோ] | 5 கிலோ (இசட் அச்சு, நியூமேடிக் கான்ஸ்டன்ட் ஃபோர்ஸ் பேலன்ஸ் எடை) |