-
E-LMT-XYZ (உயர் துல்லியமான நேரியல் மோட்டார் XYZ அச்சு நிலை
சிறந்த நேரான மற்றும் இயக்கத்தின் தட்டையான உயரம் நிலைசெங்குத்து நிலை பிளாட்ஃபார்ம் வடிவமைப்பு, சிறந்த சுருதி மற்றும் கொட்டாவியுடன், சிறந்த நேரான தன்மையையும் சமதளத்தையும் வழங்குகிறதுசெங்குத்தாக ஏற்றப்பட்ட நேரியல் நிலைப்படுத்தல் நிலைகளுடன் ஒப்பிடும்போது செயல்திறன், கான்டிலீவர் சுமை ஏற்படுத்தும்துணை நேரியல் தாங்கு உருளைகளில் விலகல்கள்.குரல் சர்வோ மோட்டார்ஸ்இ-ஏபிவிடி-இசட் உடன் உயர் தெளிவுத்திறன் கொண்ட லீனியர் மோஷன் உள்நாட்டில் ஒரு குரல் சுருள் மோட்டார் மூலம் இயக்கப்படுகிறதுகாற்று மிதக்கும் டிரான்ஸ்ஃபர் ரெயிலுடன் (குறுக்கு பந்து வழிகாட்டி தண்டவாளங்களையும் பயன்படுத்தலாம்), மேலும் மூடுவதற்கு உயர் தெளிவுத்திறன் கொண்ட கிராட்டிங்கைப் பயன்படுத்துகிறதுலூப், மற்றும் குறைந்தபட்ச இடப்பெயர்ச்சி மற்றும் மீண்டும் மீண்டும் செய்யக்கூடிய தன்மையை உறுதி செய்வதற்காக உயர் செயல்திறன் கொண்ட இயக்கி பொருத்தப்பட்டுள்ளது.நிலைப்படுத்தல் நிலை.சிறந்த செயல்திறனை அடைய.கணினி கட்டுப்பாடு, மென்பொருள், நிரலாக்கம் -
E-NFZ240-Z தொடர் (Z-அச்சு உயர் துல்லிய நேரியல் மோட்டார் நிலை)
● வடிவமைப்பு அம்சங்கள்
● உயர் செயல்திறன் ஸ்கேனிங் மற்றும் ஆய்வுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது
● அனைத்து காற்று தாங்கும் பரப்புகளிலும் ஆக்டிவ் ஏர் ப்ரீலோட்
● லீனியர் குறியாக்கி கருத்து துணை நானோமீட்டர் தெளிவுத்திறனை வழங்குகிறது
● அதிக சுமைகளுக்கு அதிக விறைப்பு மற்றும் சிறந்த வடிவியல் செயல்திறன்
● 50 மற்றும் 100 மிமீ பயணங்களுடன்
● ஒருங்கிணைந்த எதிர் சமநிலை
-
E-LMT145-Z (உயர் துல்லியமான நானோ மோட்டார் பொருத்தப்பட்ட நிலை) செங்குத்து Z அச்சு நேரியல் மோட்டார் நிலை
● வடிவமைப்பு அம்சங்கள்
● உயர் செயல்திறன் ஸ்கேனிங் மற்றும் ஆய்வுக்காக வடிவமைக்கப்பட்டுள்ளது
● அனைத்து காற்று தாங்கும் பரப்புகளிலும் ஆக்டிவ் ஏர் ப்ரீலோட்
● லீனியர் குறியாக்கி கருத்து துணை நானோமீட்டர் தெளிவுத்திறனை வழங்குகிறது
● அதிக சுமைகளுக்கு அதிக விறைப்பு மற்றும் சிறந்த வடிவியல் செயல்திறன்
● 50 மற்றும் 100 மிமீ பயணங்களுடன்
● ஒருங்கிணைந்த எதிர் சமநிலை
-
இ-லீனியர் மோட்டார் நிலை மற்றும் கட்டுப்படுத்தி ELMT-MINIXY
ELMT-MINIXY தொடர் மிகவும் கச்சிதமான பரிமாணங்கள் மற்றும் சிறந்த டைனமிக் செயல்திறன் கொண்டது, குறிப்பாக விண்வெளி அளவு உணர்திறன் உள்ளவர்களுக்கு ஏற்றது, அதே நேரத்தில், இது ஒரு பெரிய பக்கவாதம் மற்றும் அதிக துல்லியமான பயன்பாட்டு காட்சிகளைக் கொண்டிருக்கும் என்று நம்பப்படுகிறது.
-
E-SST160-Z50 Z-அச்சு ஸ்டெப்பர் மோட்டார் தூக்கும் அட்டவணை
● செங்குத்து இயக்க வரம்பு 25 அல்லது 30 மிமீ
● நிமிட படி 100nm
● சுமை திறன் 6 கிலோ வரை
● நேரடி அளவிடும் நேரியல் குறியாக்கி விருப்பம்
● ஸ்டெப்பர் மோட்டார் டிரைவ்
● குறுக்கு பந்து தண்டவாளங்கள்
-
E-LMT-XY (உயர் துல்லியமான நேரியல் மோட்டார் நிலை) XY நேரியல் மோட்டார் இயக்க நிலை
● பயண வரம்பு 100 மிமீ × 100 மிமீ அல்லது 200 மிமீ × 200 மிமீ
● 0.3 µm க்கு ஒருதலைப்பட்ச மறுபரிசீலனை
● அயர்ன்லெஸ் 3-ஃபேஸ் லீனியர் மோட்டார்
● வேகம் 500 மிமீ/வி அதிகரிக்கும்
4.88 nm தெளிவுத்திறனுடன் ● நேரியல் குறியாக்கி
● குறுக்கு ரோலர் வழிகாட்டிகள்
● நேரியல் மோட்டார்கள்
-
E-ABVT-Z செங்குத்து அச்சு காற்று தாங்கும் நிலை
● செங்குத்து இயக்க வரம்பு 20 அல்லது 38 மிமீ (1/2″)
● 10nm க்கு மீண்டும் மீண்டும் நிலைநிறுத்துதல்
● சுமை திறன் 6 கிலோ வரை
● நேரடி அளவிடும் நேரியல் குறியாக்கி விருப்பம்
● குரல் மோட்டார் இயக்கி
● காற்று தாங்கும் தண்டவாளங்கள், குறுக்கு பந்து தண்டவாளங்களையும் பயன்படுத்தலாம்
-
E-GLMT-XY (உயர் துல்லியமான நேரியல் மோட்டார் நிலை) XY லீனியர் மோட்டார் நிலை
● நேரியல் மோட்டார்கள்
● நேரியல் மோட்டார்கள் மின்காந்த நேரடி இயக்கிகள்.அவை டிரைவ் டிரெய்னில் உள்ள மெக்கானிக்கல் கூறுகளை விநியோகிக்கின்றன மற்றும் டிரைவ் ஃபோர்ஸை நேரடியாக மற்றும் உராய்வு இல்லாத இயக்க தளத்திற்கு மாற்றுகின்றன.இயக்கிகள் அதிக வேகம் மற்றும் முடுக்கங்களை அடைகின்றன.நிரந்தர காந்தங்களுடன் விரும்பத்தகாத தொடர்பு இல்லாததால், இரும்பு இல்லாத மோட்டார்கள் துல்லியமாக அதிக கோரிக்கைகளுடன் பணிகளை நிலைநிறுத்துவதற்கு மிகவும் பொருத்தமானவை.இது குறைந்த வேகத்தில் கூட சீராக இயங்க அனுமதிக்கிறது, அதே நேரத்தில் அதிக வேகத்தில் அதிர்வு இருக்காது.கட்டுப்பாட்டு நடத்தையில் நேரியல் அல்லாத தன்மை தவிர்க்கப்படுகிறது மற்றும் எந்த நிலையையும் எளிதாகக் கட்டுப்படுத்த முடியும்.உந்து சக்தியை சுதந்திரமாக அமைக்கலாம்.
-
E-TRI-R5 மூன்று-அச்சு இணையான சமன்படுத்தும் தளம்
மூன்று டிகிரி சுதந்திரத்திற்கான இணை-இயக்கவியல் வடிவமைப்பு, இது சீரியல்-கினிமடிக் சிஸ்டம்களை விட கணிசமான அளவு கச்சிதமான மற்றும் கடினமானதாக ஆக்குகிறது, அதிக இயக்கவியல், நகர்த்தப்பட்ட கேபிள்கள் இல்லை: அதிக நம்பகத்தன்மை, குறைக்கப்பட்ட உராய்வு.
