-
E-SCAN தயாரிப்புகளின் தொடர் SCAN -1 நானோ ஸ்கேனிங் நிலை
μSCAN தொடர் ஸ்கேனிங் அமைப்பு சமீபத்தில் எங்கள் நிறுவனத்தால் தொடங்கப்பட்ட உயர் செயல்திறன் ஒருங்கிணைந்த அமைப்பாகும்.முழு இயந்திரமும் உயர்-விறைப்புத்தன்மை கொண்ட கிரானைட்டை அடிப்படையாகப் பயன்படுத்துகிறது, உயர் செயல்திறன் கொண்ட நேரியல் மோட்டார்கள் மற்றும் சர்வோ இயங்குதளங்களுடன் ஒத்துழைக்கிறது, மேலும் முக்கியமாக உயர் துல்லியமான ஸ்கேனிங், செயலாக்கம், சோதனை மற்றும் பிற பயன்பாடுகளுக்குப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.நிலையான ஸ்ட்ரோக் அளவுருக்களின் தேர்வு வேகமான டெலிவரியை ஆதரிக்கிறது, இது வாடிக்கையாளரின் கலவையுடன் அறிமுகமில்லாததால் ஏற்படும் சேர்க்கை குறைபாடுகள் மற்றும் பிழைத்திருத்தத்தில் அறிமுகமில்லாததால் ஏற்படும் செயல்திறன் குறைபாடுகளை வெகுவாகக் குறைக்கிறது.
-
E-LMT-XY (உயர் துல்லியமான நேரியல் மோட்டார் நிலை) XY நேரியல் மோட்டார் இயக்க நிலை
● பயண வரம்பு 100 மிமீ × 100 மிமீ அல்லது 200 மிமீ × 200 மிமீ
● 0.3 µm க்கு ஒருதலைப்பட்ச மறுபரிசீலனை
● அயர்ன்லெஸ் 3-ஃபேஸ் லீனியர் மோட்டார்
● வேகம் 500 மிமீ/வி அதிகரிக்கும்
4.88 nm தெளிவுத்திறனுடன் ● நேரியல் குறியாக்கி
● குறுக்கு ரோலர் வழிகாட்டிகள்
● நேரியல் மோட்டார்கள்
-
E-ABW400-X ஒரு பரிமாண காற்று மிதக்கும் தளம்
● பயன்பாடுகளை ஸ்கேன் செய்வதற்கு அல்லது உயர் துல்லியமான நிலைப்படுத்தலுக்கு ஏற்றது
● சுத்தமான அறைக்கு இணக்கமானது
● இயக்க மேடையின் அளவு 400 மிமீ × 138 மிமீ
● பயண வரம்பு 200 மிமீ முதல் 1000 மிமீ வரை
● தெளிவுத்திறன் 5 nm
-
E-ABVT-Z செங்குத்து அச்சு காற்று தாங்கும் நிலை
● செங்குத்து இயக்க வரம்பு 20 அல்லது 38 மிமீ (1/2″)
● 10nm க்கு மீண்டும் மீண்டும் நிலைநிறுத்துதல்
● சுமை திறன் 6 கிலோ வரை
● நேரடி அளவிடும் நேரியல் குறியாக்கி விருப்பம்
● குரல் மோட்டார் இயக்கி
● காற்று தாங்கும் தண்டவாளங்கள், குறுக்கு பந்து தண்டவாளங்களையும் பயன்படுத்தலாம்
-
E-ABL250-X ஒரு பரிமாண அல்ட்ரா-துல்லியமான காற்று தாங்கும் தளம்
● பயன்பாடுகளை ஸ்கேன் செய்வதற்கு அல்லது உயர் துல்லியமான நிலைப்படுத்தலுக்கு ஏற்றது
● சுத்தமான அறைக்கு இணக்கமானது
● இயக்க மேடையின் அளவு 250 மிமீ × 90 மிமீ
● பயண வரம்பு 100 மிமீ முதல் 600 மிமீ வரை
● சுமை திறன் 200 N
● காற்று தாங்கும் வடிவமைப்பு
● E-EC-ABL-X
● சுமை திறனை இழக்காமல் வழக்கமான காற்று தாங்கும் நிலைகளை விட சிறிய குறுக்குவெட்டைக் கொண்டுள்ளது.பெரிய காற்று தாங்கும் மேற்பரப்புகள் சிறந்த விறைப்புத்தன்மையை வழங்குகின்றன, அதிக சுமைகளை அனுமதிக்கிறது.தனியுரிம உற்பத்தி
● நுட்பங்கள் மீறமுடியாத பிட்ச், ரோல் மற்றும் யாவ் பண்புகளுடன் ஒரு கட்டத்தில் விளைகின்றன.
-
E-EC-ABL-X ஒரு பரிமாண காற்று மிதக்கும் இயக்க நிலை
● முழுமையாக முன் ஏற்றப்பட்ட காற்று தாங்கி
● 1000 மிமீ பயணத்தில் கிடைக்கும்
● உயர் துல்லியமான நேரியல் குறியாக்கி கருத்து
● முழு தொடர்பு இல்லாத வடிவமைப்பு
● சிறந்த வேக நிலைத்தன்மைக்கான அல்ட்ரா-மென்மையான வடிவமைப்பு
-
E-NLS92-50-1V-BLinear மோட்டார் மோஷன் நிலை உயர் துல்லியமான நேரியல் நிலை
● LS90-50-1V-B அம்சங்கள்;
● அல்ட்ரா-தின், லீனியர் மோட்டார் டிரைவ்.பக்கவாதம் 50 மிமீ;
● மிகவும் சிறிய அளவு, சுயவிவரம் 122mm x 92mm x 18mm;
● 50 nm குறைந்தபட்ச அதிகரிக்கும் இயக்கம்;
● மீண்டும் பொருத்துதல் துல்லியம்: ≤100nm;
● கிராட்டிங் ரெசல்யூஷன் 1nm (1vpp);
● மதிப்பிடப்பட்ட உந்துதல் 5N உச்ச உந்துதல் 16N;
● இறக்குமதி செய்யப்பட்ட குறுக்கு வழிகாட்டி ரயில்;
● அதிகபட்ச சுமை: 4Kg;
● மென்மையான தொடர்ச்சியான இயக்கம், தொழில்துறை தர சேவை வாழ்க்கை;
-
E-ABT-XY-360X360 (செராமிக் லீனியர் மோட்டார் நிலை) XY ஏர் தாங்கி லீனியர் மோட்டார் நிலை
பீங்கான் பதிப்பு உயர் தூய்மை அலுமினாவை காற்று மிதக்கும் அமைப்பு மற்றும் வழிகாட்டி கூறுகளாகப் பயன்படுத்துகிறது.கிரானைட் மற்றும் உலோகத்துடன் ஒப்பிடும்போது, அலுமினா மட்பாண்டங்கள் சிறிய விரிவாக்கக் குணகத்தைக் கொண்டுள்ளன, மேலும் நேரான தன்மை, கடினத்தன்மை மற்றும் உடைகள் எதிர்ப்பின் நன்மைகள்.
-
E-GLMT-XY (உயர் துல்லியமான நேரியல் மோட்டார் நிலை) XY லீனியர் மோட்டார் நிலை
● நேரியல் மோட்டார்கள்
● நேரியல் மோட்டார்கள் மின்காந்த நேரடி இயக்கிகள்.அவை டிரைவ் டிரெய்னில் உள்ள மெக்கானிக்கல் கூறுகளை விநியோகிக்கின்றன மற்றும் டிரைவ் ஃபோர்ஸை நேரடியாக மற்றும் உராய்வு இல்லாத இயக்க தளத்திற்கு மாற்றுகின்றன.இயக்கிகள் அதிக வேகம் மற்றும் முடுக்கங்களை அடைகின்றன.நிரந்தர காந்தங்களுடன் விரும்பத்தகாத தொடர்பு இல்லாததால், இரும்பு இல்லாத மோட்டார்கள் துல்லியமாக அதிக கோரிக்கைகளுடன் பணிகளை நிலைநிறுத்துவதற்கு மிகவும் பொருத்தமானவை.இது குறைந்த வேகத்தில் கூட சீராக இயங்க அனுமதிக்கிறது, அதே நேரத்தில் அதிக வேகத்தில் அதிர்வு இருக்காது.கட்டுப்பாட்டு நடத்தையில் நேரியல் அல்லாத தன்மை தவிர்க்கப்படுகிறது மற்றும் எந்த நிலையையும் எளிதாகக் கட்டுப்படுத்த முடியும்.உந்து சக்தியை சுதந்திரமாக அமைக்கலாம்.
-
E-EC-ABL-X ஒரு பரிமாண காற்று மிதக்கும் துல்லிய நேரியல் நிலைகள்
E-EC-ABL-X தொடர் லீனியர் மோட்டார் பிளாட்ஃபார்ம், இரும்பு கோர் லீனியர் மோட்டாருடன் இணைந்து காற்று தாங்கும் வழிகாட்டி ரயிலின் முறையைப் பின்பற்றுகிறது, இது பாரம்பரிய மெக்கானிக்கல் வழிகாட்டி தண்டவாளங்களுடன் ஒப்பிடமுடியாத நேராகவும் சமதளமாகவும் உள்ளது, மேலும் இது சிறிய படி தூரங்கள் அல்லது அல்ட்ரா-க்கு ஏற்றது. துல்லியமான நிலைப்படுத்தல் பயன்பாட்டு காட்சிகள்.துல்லியமான ஆப்டிகல் பிழைத்திருத்தம், நிறுவல் மற்றும் செயலாக்கத்திற்கான சிறந்த பயன்பாட்டுத் தேர்வாகும்.
● ஏர் பேரிங் லீனியர் கைடு மிகவும் நல்ல தட்டையான மற்றும் நேரான தன்மையைக் கொண்டுள்ளது
● இரும்பு கோர் லீனியர் மோட்டார் போதுமான சிஸ்டம் விறைப்பு மற்றும் டைனமிக் செயல்திறனை உறுதி செய்கிறது
● மிகக் குறைந்த இரைச்சலுடன் அமைதியான மற்றும் நிலையான செயல்பாடு
● இது மிக உயர்ந்த துல்லியமான செயல்திறனைக் கொண்டுள்ளது
● பயன்பாடுகளை ஸ்கேன் செய்வதற்கு அல்லது உயர் துல்லியமான நிலைப்படுத்தலுக்கு ஏற்றது
● சுத்தமான அறைக்கு இணக்கமானது
● இயக்க மேடையின் அளவு 210 மிமீ × 100 மிமீ
● பயண வரம்பு 200 மிமீ முதல் 500 மிமீ வரை
● தெளிவுத்திறன் 100nm அல்லது 1 nm
-
E-LMS250GT-X (நேரியல் நிலைப்படுத்தல் நிலை) ஒரு பரிமாண நேரியல் மோட்டார் இயக்க நிலை
E-LMS250GT-X லீனியர் மோட்டார் இயங்குதளமானது உயர்தர கிரானைட்டை அடித்தளமாகப் பயன்படுத்துகிறது, அதிக விறைப்புத்தன்மை கொண்ட லீனியர் ரோலர் வழிகாட்டி ரயில் மற்றும் இரும்பு கோர் லீனியர் மோட்டாரைக் கொண்டுள்ளது.
சிறந்த தட்டையான தன்மை, நேர்த்திறன் மற்றும் சுமை திறன் கொண்ட இயந்திரம் பொதுவாக பெரிய அளவிலான மொபைல் பொருத்துதல் கருவிகளின் அடிப்படை தொகுதியாகப் பயன்படுத்தப்படுகிறது.
● கிரானைட் அடித்தளம், நல்ல விறைப்பு மற்றும் நிலைப்புத்தன்மை, அதிக சமதளம்.
● C-LUBE தொழில்நுட்பத்துடன் கூடிய நேரியல் வழிகாட்டி ரயில், 5 ஆண்டுகள் வரை லூப்ரிகேஷன் இல்லாத சுழற்சி.
●உயர் செயல்திறன், தொடர்பு இல்லாத மோட்டார், அதிக வேகம் மற்றும் மிக அதிக வேக நிலைத்தன்மை.
● சிறந்த நீட்டிக்கப்பட்ட பக்கவாதம் மற்றும் சுமை திறன்.
● வாடிக்கையாளர் உற்பத்தித் தேவைகளின் அடிப்படையில் விரைவான விநியோகம்.
-
E-NLS60-32-1V-B NLS அல்ட்ரா-தின் மினி நேரியல் இயக்க நிலை
● NLS தொடர் சிறப்புத் தனிப்பயனாக்கப்பட்ட குரல் சுருள் மோட்டாரை ஏற்றுக்கொள்கிறது, இது உயர் தெளிவுத்திறன் கொண்ட கிராட்டிங் மற்றும்
● துல்லியமான கிராஸ் ரோலர் கையேடு, மினியில்
● சிறிய அளவும் UMS தொடரின் அதே உயர் துல்லியம் மற்றும் உயர் இயக்கவியல் கொண்டது.ஒலியளவுக்கு மிகவும் உணர்திறன் கொண்ட சில பயன்பாட்டுக் காட்சிகளுக்கு குறிப்பாகப் பொருத்தமானது.
● தொடர்பு இல்லாத நேரடி இயக்கி மோட்டார், அதி-உயர் துல்லியம் மற்றும் சிறந்த டைனமிக் செயல்திறன்
● அயர்ன்லெஸ் மோட்டார், வேக ஏற்ற இறக்கம் ஆயிரத்தில் ஒரு பங்கிற்கும் குறைவாக உள்ளது (குறிப்பிட்ட வகை டிரைவ், பரிசோதனை அறை சூழல் சோதனை தரவு ஆகியவற்றுடன் இணைந்து)
● மைக்ரோ-ஸ்டெப் கட்டுப்பாட்டை உறுதிசெய்ய அமைதியான மற்றும் க்ரீப் எதிர்ப்பு வழிகாட்டி தண்டவாளங்கள்
● நீண்ட சேவை வாழ்க்கை, நீண்ட காலத்திற்கு பராமரிப்பு இல்லாத பயன்பாடு
